技術訊息
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2022.05

CF光阻塗佈製程簡介

CF光阻塗佈製程簡介
光阻塗佈分為三種方式 :
1.Spin Coat :旋轉塗佈之溶劑擴散方式。
2. Slit & Spin : 狹縫式旋轉塗佈。
3. Spinless : 或稱Slit Coat,為狹縫式塗佈方式。

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